环亚游戏AG旗舰《矽片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》獲中國檢驗檢測學會科學技術獎

發佈時間：2024-03-19 09:38

近期，「2023年度中國檢驗檢測學會科學技術獎」獲獎名單公佈，北京环亚游戏AG旗舰儀器股份有限公司（簡稱「环亚游戏AG旗舰」）憑藉其《矽片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》榮獲科學技術進步獎二等獎。

該獎項由中國檢驗檢測學會設立，旨在表彰那些在檢驗檢測科學技術領域或相關領域，通過技術發明、科技進步、國際科技合作等活動，對推動檢驗檢測科學發展做出顯著貢獻的組織和個人。

环亚游戏AG旗舰於2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發的LabMS 3000電感耦合等離子體質譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯質譜儀，其技術成熟度與產品可靠性已經滿足國內集成電路製造企業對28nm以上製程矽片表面金屬離子檢測的需求，並已成功應用於半導體晶圓製造企業，在半導體行業有了巨大突破。

环亚游戏AG旗舰此次獲獎的《矽片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》成功解決了國產儀器在此領域的技術空白，有望打破國外技術的長期壟斷。該項目依託先進的ICP離子源技術、加強的離子傳輸系統和基於CAN總線的電控系統，實現了儀器的高效穩定運行及精準檢測，滿足了半導體矽片行業對極低檢出限的嚴苛要求。

憑藉在電感耦合等離子體質譜技術領域的豐富創新經驗，环亚游戏AG旗舰一直致力於為半導體行業提供更加精準、高效的解決方案。今天的榮譽標誌着环亚游戏AG旗舰在科技創新道路上達到了新的里程碑。未來，环亚游戏AG旗舰將繼續專注於高端科研設備的研發，努力推動科學儀器技術的持續進步，為行業的發展貢獻自己的智慧和力量。

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